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关于半导体厂部分动力设备节能措施的分析

人气指数: 发布时间:2014-08-20 09:59  来源:http://www.zgqkk.com  作者: 王占强
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  摘 要:通过介绍冷水、热水和CDA系统的节能降耗措施,讨论了在保证系统正常运行下如何使系统运行达到帕累托最优,进而达到节省生产成本的目的。

  关键词:冷水机组;动力设备;水泵;温差

  中图分类号:X703.1 文献标识码:A 文章编号:2095-6835(2014)10-0004-02

  随着某半导体公司产能的持续扩大和水电气费的持续增加,厂务动力部分设备的能耗占公司总能耗的35%以上,因此,对动力系统实施节能措施已经十分迫切。空调作为大能耗电器,对其进行节能的空间相当大,另外,CDA系统也存在很大的节能空间。但对于旧的动力系统设计,如何合理地采用可行的、经济的方案来完成对动力系统的节能改造,仍然是一个值得探讨的问题。下面将依据动力系统的设计和设备的运行情况,介绍几种常见的节能降耗措施。

  1 冷水系统的节能措施

  1.1 大温差冷却水措施

  Maquay离心式冷水机组的冷凝器设计的冷却水流量是720 m3/h,而选配的冷却水泵是930 m3/h,显示冷凝器进出水温差为2.5 ℃。由2.5 ℃的温差可得知:冷却水泵的选型过大,存在“大马拉小车”的现象;冷凝器脏的换热效率低下。

  “大马拉小车”就是在供冷量不变的情况下,通过增大供回水温差来减少冷却水的流量,以减少水泵的功率和运行费用,从而达到节能的目的。有了增加冷却水进出水温差的方法后,使用大泵替代小泵或使用变频器控制流量,但变频器的安装会增加投入。如果用一台变频器控制两台水泵,就会减少一次投入,并形成备用。下面以110 kW、930 m3/h的水泵为例,其性能曲线图如图1所示。

  从图1中可以看出,如果通过温差控制流量,即在maquay离心式冷水机组实验流量为720 m3/h的情况下,可以减少大约7%的能耗。

  对于冷凝器脏的问题,冷水机组自运行以来,从未对冷凝器进行过清洗工作,从冷凝温度上看,冷凝器应该每年进行一次清洗,这样可以提高换热的效率。

  1.2 合适的冷却水进水温度

  空调工况的制冷剂冷凝温度一般在40 ℃左右,因传热温差的关系,冷却水的出水温度要比制冷剂冷凝温度低2~3 ℃,冷凝温度越低,蒸发温度越高,制冷剂越大,制冷系数也越大。尤其对离心式压缩来说,制冷量会随着蒸发温度的降低和冷凝温度的升高而急剧降低,较低的冷却水温度有利于降低冷凝温度,节约压缩机的电耗。

  离心式压缩制冷机的转速恒定,在制冷剂的蒸发温度Te=4.4 ℃的工况下,冷凝温度Tc从40 ℃提高到了42 ℃,传热温差降低了7.5%,制冷量下降了20%.在对离心式冷水机组的运行进行观察时发现,冷却水每提高1 ℃,COP下降近4%,每小时多耗电能30 kW·h。根据冷机的制冷工况,离心式冷水机组冷却水的进水温度应保持在25 ℃左右,比冷水机组实验的32 ℃进水温度低1 ℃,COP增加约28%,即相同的制冷量,耗电量降低了28%.但冷水机组还有其他的自动保护功能,因此冷却水的进水温度也不能太低。

  1.3 中温水的节能措施

  我公司设计的17 ℃中温水是由22 ℃中温水回水和5 ℃冷冻水混合而成的,混合水温度通过电动调节阀调节。由于电动调节阀的滞后性和其他因素的影响,有一大部分的冷量会被浪费,但设计中也考虑了随着负荷的扩大,可以通过冷水机组直接供应中温水,这样既减少了冷量的浪费,又提高了设备的利用率。这种中温水有单独的冷水机组供应,因此在半导体厂得到了广泛的应用,例如台积电(台湾厂)、英特尔(大连厂)等。虽然节能效果无法估算,但会起到节能效果是可以肯定的。在不增加投资成本的基础上,这种节能措施还是比较有效的。

  1.4 冷却塔节能

  降低冷却塔的出水温度,有利于提高冷水机组的性能,但同时也会增加冷却塔风机的电能消耗。考虑到当前设备的供应情况和控制系统,可以使用下面两种冷却水系统节能方法。

  冷却塔风机要根据冷却水的供水温度对其进行变频控制。目前冷却塔的风机运行方式是工频运行,工频运行如果不能在最佳的温度上运行,而且风机频繁启停,那么设备的老化速度就会加大,耗电量也会增大。为了节约电能,利用变频器对其进行控制是目前比较有效的方法。

  利用冷凝水回收的水量补给冷却塔的水损失。按照冷却水4 ℃温差算,每天需补水180 t左右,一年约为6×104 t。将MAU排放的冷凝水和利用PCW回收的RO水用作冷却塔补水,每天可节省自来水大约为80 m3,一年可节省近3×104 m3。如果能够回收更多的废水,那么节约用水的效果会更明显。


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