1.5 提高冷冻水供水温度

　　冷冻水温度越高，冷机的制冷效率就越高。冷冻水供水温度提高1 ℃，冷机的制冷系数就提高3%，所以在日常运行中不要盲目降低冷冻水的温度，包括不要设置过低的冷机冷冻水设定温度；一定要关闭停止运行的冷机的水阀，防止部分冷冻水走旁通管路，否则，经过运行中的冷机的水量就会减少，导致冷冻水的温度被冷机降到过低的水平。目前设定的出水温度为5.5 ℃，在提高到6 ℃后，既能满足温湿度需要，又能节省大量电能。

　　1.6 IT机房空调制冷节能措施

　　在冬季时，办公室的空调都已经停用，但IT机房还需要冷量，因此1#楼的循环水泵就被用来为IT机房制冷。循环水泵的功率为22 kW，在冬季时，水泵的频率保持在30 Hz左右。IT机房制冷耗电量就包括两部分，即IT机房柜式空调和水泵能耗。如果IT机房保持冷量的方式改变，在冬季工况时停掉水泵，每天可节约大约300 ℃的能耗。

　　2 热水系统的节能措施

　　热水系统的能耗大约占总能耗的10%.目前使用的供热方式是燃气锅炉，分别有1 400 kW和2 800 kW的燃气锅炉各1台。2008年，两台锅炉总用气量的统计数据如表1所示。

　　从表1可知，两台燃气锅炉平均每天的耗气量为1 100 m3，费用近5 300元。如果换成电能，大约为7 500 kW·h。1 m3天然气产生的热值为11.6 kW，如果使用热泵供热（假设热泵的COP为3.5），则需要的电能为3.3 kW·h，电费为2.4元，而天然气为4.8元/m3，可节约大约一半的费用。

　　3 CDA系统的节能措施

　　目前CDA系统增加了两台神钢空气压缩机，其中一台为变频机。由于神钢空气压缩机独特的冷却设计，启动它大概需要3 kg的水压，之前设计的冷却系统却只能提供不到2 kg的水压，造成新增空压机因水量不足而不能启动。根据压力表反映出来的问题，判断为管道压损比较大和5.5 kW的压头不足，换成15 kW的水泵后，就可以满足新增空压机的需要，但采用这样的方法不但需要重新布线和购买更大的水泵，而且每天的耗电量也会增加300 kW·h。为了使原来的设计能够满足新增空压机的需要，可以采取通过膨胀水箱对整个冷水系统增压的方法，这样就会使CDA的冷却系统增压2 kg，即使使用原来5.5 kW的水泵，也可以满足新增空压机的需要，该项措施每年可以节约电能近110 000 kW·h。

　　原来使用的英格索兰空气压缩机由于不是变频机，空压机会在设定的加载压力下加载，在减载压力下减载。自英格索兰空气压缩机运行以来，空压机有30%的时间是处于空载状态，空载状态下运行电流50 A左右。这样最少浪费了123 500 kW·h的电能。因此，建议空气压缩机使用变频控制。

　　CDA系统后处理设备也可以节能。目前CDA供气的露点为-100 ℃，而6寸半导体厂只需要-75 ℃。目前使用的无热再生式干燥机没有安装控制露点的系统。下面将介绍采取DDS系统控制露点的方法。

　　DDS露点控制切换节能系统直接监测干燥机的出口空气露点，决定着干燥机的切换时间，在干燥剂仍有干燥能力时，系统停止再生侧的再生，自动延长工作侧干燥剂的工作时间，从而减少压缩空气再生气的消耗量，达到节能的效果。因此，DDS系统打断了控制器的正常循环，只有干燥剂吸收的水分达到其吸附容量时，才指示干燥机切换，这有效地延长了干燥机的循环周期。由于再生时间的恒定，再生结束后，干燥机没有立即切换，而是继续工作，在这段时间内再生腔不再消耗，从而节约了能源，这个过程中节省的气量为：一台MXS104干燥机在进气温度为35 ℃进气压力，在7 barg、出口露点为-75 ℃时的处理量为11.89 m3/min，干燥机的选型都是以最恶劣的工作状态为标准来选择干燥机，也就是按照最大的流量、最高的进气温度、最低的进气压力来选择，所以干燥机每年只有几天是满负荷工作，其余大多数时间里，特别是在春冬季节、交接班和用气量降低的情况下，干燥机一般都处于低负荷的工作状态。大部分干燥机在全年的平均负荷仅为70%，甚至更低。由于无热再生式吸附干燥机需要用干燥的压缩空气进行再生，因此一台MXS104干燥机所需要的再生气量为2.72 m3/min，所以加装DDS节能装置后全年可以节省用气2.72×30%×60×24×365=428 889.08 m3。节省用电428 889/（15.3×60）×110=51 392 kW·h/年。

　　4 结束语

　　厂务设备是半导体厂的能耗大户，有巨大的节能空间。上文中介绍的是在保证系统正常运行的情况下一些常见的节能措施，有关的实例计算结果也充分证明了节能效果是非常明显的。

　　参考文献

　　[1]李世一，杨曼辉.集中供热系统的节能措施[J].赤峰学院学报（自然科学版），2008（12）.

　　[2]王学成.区域和分散锅炉房节能改造措施[J].林业科技情报，2009（03）.

 

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